(仕様)
レンジ : 0.035~1.4mm ※ただし、センサから45mm±3.5mmの範囲にターゲットがあること
出力 : アナログ : 4-20 mA、0-10 V
デジタル : RS422/EtherCAT/Ethernet
分解能 : <1nm
精度 : < ±100 nm
応答性 : 100 Hz~6 kHz
温度 : 5~70 ℃
測定体 : 薄い層、ガラス、フィルムなど
レンジ : 0.035~1.4mm ※ただし、センサから45mm±3.5mmの範囲にターゲットがあること
出力 : アナログ : 4-20 mA、0-10 V
デジタル : RS422/EtherCAT/Ethernet
分解能 : <1nm
精度 : < ±100 nm
応答性 : 100 Hz~6 kHz
温度 : 5~70 ℃
測定体 : 薄い層、ガラス、フィルムなど