レンジ:0~2 mm…50 mm
出力:Ethernet/EtherCAT
RS422
アナログ出力 (C-Box使用)
分解能:最大<0.03μm
精度:最大<0.03%FSO
応答性:49.14 / 30 / 20 / 10 / 5 / 2.5 / 1.5 kHz 選択可(ソフトウェア使用)
温度:0~50 ℃
出力:Ethernet/EtherCAT
RS422
アナログ出力 (C-Box使用)
分解能:最大<0.03μm
精度:最大<0.03%FSO
応答性:49.14 / 30 / 20 / 10 / 5 / 2.5 / 1.5 kHz 選択可(ソフトウェア使用)
温度:0~50 ℃