レンジ:0~0.05 mm…10 mm
出力:0~10 VDC
4~20 mA ( オプション : 0~20 mA )
Ethernet 24 Bit ; EtherCAT
分解能:スタティック : 0.000075 %FSO
ダイナミック : 0.002 %FSO
精度:<±0.05 %FSO
応答性:8.5 kHz (-3dB)
温度:センサ : -50~200 ℃
コントローラー : 10~60 ℃
測定体:導電性を有する全ての物体及び半導体
(DL6530のみ絶縁体測定可能)
出力:0~10 VDC
4~20 mA ( オプション : 0~20 mA )
Ethernet 24 Bit ; EtherCAT
分解能:スタティック : 0.000075 %FSO
ダイナミック : 0.002 %FSO
精度:<±0.05 %FSO
応答性:8.5 kHz (-3dB)
温度:センサ : -50~200 ℃
コントローラー : 10~60 ℃
測定体:導電性を有する全ての物体及び半導体
(DL6530のみ絶縁体測定可能)