最終更新日:
2021-06-21 10:33:58.0
真空環境下及びクリーンルーム内で計測の出来る白色光干渉計です
ナノメートル精度の絶対距離測定
30ピコメートルの高分解能
真空環境に適したセンサ及びケーブル
基本情報
(仕様)
レンジ : 0~2.1mm
出力 : アナログ : 4-20 mA、0-10 V デジタル : RS422/EtherCAT/Ethernet
分解能 : <30 pm
精度 : < ±10 nm
応答性 : 100 Hz~6 kHz
温度 : 5~70 ℃
測定体 : ガラス、反射面、拡散表面など
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 真空環境下及びクリーンルーム内で計測 |
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