三協インタナショナル株式会社

白色光干渉計 IMS5600-DS

最終更新日: 2021-06-21 10:33:58.0
真空環境下及びクリーンルーム内で計測の出来る白色光干渉計です

ナノメートル精度の絶対距離測定
30ピコメートルの高分解能
真空環境に適したセンサ及びケーブル

基本情報

(仕様)
レンジ : 0~2.1mm
出力 : アナログ : 4-20 mA、0-10 V デジタル : RS422/EtherCAT/Ethernet
分解能 : <30 pm
精度 : < ±10 nm
応答性 : 100 Hz~6 kHz
温度 : 5~70 ℃
測定体 : ガラス、反射面、拡散表面など

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 真空環境下及びクリーンルーム内で計測

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