■ 使用流体 :空気、水、接液部材質に適合する流体
■ サイクルタイム:1、000ステップ/秒→1.1秒
■ 使用圧力範囲 :バキューム~207Kpa
■ 適応温度範囲 :0~82℃
■ 電圧 :20VDC(207Kpa時)
■ 電流 :0.5A
■ 消費電力 :駆動時 2.5W
停止時 0.0W
■ 流量範囲 :エアー 0~8.0L/分
水 0~210ml/分(207Kpa時)
■ 分解能(流量):エアー 7.8ml/分
水 0.2ml/分(207Kpa時)
■ 分解能(位置):1.5μm/ステップ
■ ドライバ :バイポーラチョッパードライバ
■ 弁部材質(接液部):セラミック
■ サイクルタイム:1、000ステップ/秒→1.1秒
■ 使用圧力範囲 :バキューム~207Kpa
■ 適応温度範囲 :0~82℃
■ 電圧 :20VDC(207Kpa時)
■ 電流 :0.5A
■ 消費電力 :駆動時 2.5W
停止時 0.0W
■ 流量範囲 :エアー 0~8.0L/分
水 0~210ml/分(207Kpa時)
■ 分解能(流量):エアー 7.8ml/分
水 0.2ml/分(207Kpa時)
■ 分解能(位置):1.5μm/ステップ
■ ドライバ :バイポーラチョッパードライバ
■ 弁部材質(接液部):セラミック