ステッピングモーターを流量制御に応用した画期的な制御弁
Eclipse（エクリプス）は、高精度かつ微細な流体制御を可能にする電磁比例式制御弁です。高性能マイクロステッピング・モーター駆動と、卓越した加工技術による独自のスライド・プレートバルブ機構を融合したことで、耐久性に優れた構造と高精度な無段階流体制御技術の両立に成功しました。 バルブ（接液部）には高い耐久性と耐食性を併せ持つセラミック製プレートを採用しており、エアー、ガスといった気体から各種液体まで幅広い流体に適応しています。高純度流体を扱う上で重要なファクターとなる「ゼロデッドボリューム」も可能にしており、より快適で信頼のおける結果をユーザーに提供します。 ● 微細な分解能（流量：0.2 ml/ 分 ※ 、位置：1.5 μ m / ステップ） ※207Kpa、流体：水の場合 ● 優れた応答性（< 2 ms）と追従性（誤差 > 4 ％）、そして再現性（< 0.5 %） ● 接液部となるバルブユニットは高い耐久性と耐食性を備えるセラミック製 ● ゼロデッドボリューム仕様 ● エアー、ガス、液体まで幅広い流体に適応
Eclipse（エクリプス）は、高精度かつ微細な流体制御を可能にする電磁比例式制御弁です。高性能マイクロステッピング・モーター駆動と、卓越した加工技術による独自のスライド・プレートバルブ機構を融合したことで、耐久性に優れた構造と高精度な無段階流体制御技術の両立に成功しました。 バルブ（接液部）には高い耐久性と耐食性を併せ持つセラミック製プレートを採用しており、エアー、ガスといった気体から各種液体まで幅広い流体に適応しています。高純度流体を扱う上で重要なファクターとなる「ゼロデッドボリューム」も可能にしており、より快適で信頼のおける結果をユーザーに提供します。 ● 微細な分解能（流量：0.2 ml/ 分 ※ 、位置：1.5 μ m / ステップ） ※207Kpa、流体：水の場合 ● 優れた応答性（< 2 ms）と追従性（誤差 > 4 ％）、そして再現性（< 0.5 %） ● 接液部となるバルブユニットは高い耐久性と耐食性を備えるセラミック製 ● ゼロデッドボリューム仕様 ● エアー、ガス、液体まで幅広い流体に適応
