上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
０～２０ ｓｃｃｍ/ｍｉｎの微小から０～５００ｓｌｍ/ｍｉｎの大流量レンジまで１４レンジ用意。計測精度は±１．５％ＦＳです。
マクミラン社のマスフローメータ５０シリーズは、クリーンでドライな気体を０～２０ｓｃｃｍ/ｍｉｎのような小さい流量から０～５００ｓＬｍ/ｍｉｎのような大きな流量まで、計測精度±１．５％ＦＳで１４種類の計測レンジでカバーしています。流量検知センサは、サーマルマスフローセンサ（特許）を採用する事により最小のゼロドリフトを実現し、長期に渡る優れた安定性、再現性、高速応答性を実現しています。全てのモデルはＮＩＳＴにトレーサビリティが確保されています。使用用途により本体材質、継手、電機接続、電源電圧、など選択する事が可能となており、様々な用途に対応する事が可能です。さらにモデル５０Ｄ／５０ＳＤは流量に応じたリニアなＤＣ ０～５Ｖ出力そして３－１／２桁で瞬時流量を計測表示します。
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エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
