セトラ社　ウルトラクリーン圧力センサ　モデル２２５シリーズ

デッドスペースが１．８ｍＬと小さくパージが容易に行えます。
接ガス部はＳＵＳ３１６ＬのＶＡＲ材を０．１８Ｒａの電解研磨処理しており、全品ヘリウムリークテストを行っています。
スライド式カバーになっておりゼロ、スパンの調整が容易に行えます。
わずかなダイヤフラムの変化の静電容量を検出し独自のチャージバランス原理を使用したカスタムＩＣにより高精度のリニアな直流電気信号に変換します。
電気接続は１．８ｍ多芯ケーブル又は４ピン差込コネクタが用意されています。

センサチャンバは３１６Ｌ（ＶＡＲ材）を０．１８Ｒａに電解研磨されおり独自の静電容量センシング技術で高精度で安定した出力信号を供給します。
オプションで多様なチューブ内径と面シール継手が用意されています。
堅牢な構造で配管のねじれ、溶接時の熱衝撃など組み付け時のトラブルを減少させます。
また８５℃までのベーキング処理が可能です。全品ヘリウムリークテストを実施しています。

【仕様】
◎圧力範囲：0～1kPaから0～100kPa
◎精度：±0.5%読み値(±0.25%オプション)
◎補償温度：0～50℃
◎使用電源：DC12～30V
◎長期安定性：±0.5％FS／年
◎応答性：20msec
◎過負荷耐圧：300kPa

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

[流量]
0～300Ｌ/ｍｉｎ
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度
[最大使用温度]
不活性ガス中 80℃
CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせください
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
＜1×10 -9 atm cc/sec

◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇

[流量]
0～700Ｌ/ｍｉｎ
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度
[最大使用温度]
不活性ガス中 80℃
CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせください
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
＜1×10 -9 atm cc/sec

◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇

[流量]
0～2100Ｌ/ｍｉｎ
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度
[最大使用温度]
不活性ガス中 80℃
CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせください
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
＜1×10 -9 atm cc/sec

◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇

[流量]
0～2900Ｌ/ｍｉｎ
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度
[最大使用温度]
不活性ガス中 80℃
CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせください
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
＜1×10 -9 atm cc/sec

◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇

[流量]
0～5700Ｌ/ｍｉｎ
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度
[最大使用温度]
不活性ガス中 80℃
CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせください
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
＜1×10 -9 atm cc/sec

◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇

[流量]
0～8550Ｌ/ｍｉｎ
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度
[最大使用温度]
不活性ガス中 80℃
CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせください
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
＜1×10 -9 atm cc/sec

◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇

[0.01ミクロンフィルター]
最大66.6666%のろ過精度（＠0.01ミクロン）
[最大使用温度]
400℃
[最大使用圧力]
1.72MPa
[グラスマイクロファイバー]
100%グラスマイクロファイバー(SUS316Lメッシュで支持)
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
＜1×10 -9 atm cc/sec


◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇

[流量]
0～30Ｌ/ｍｉｎ
[フィルターメディア]
PTFE
[その他材質]
PTFE/FEP/FKM
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度
[最大使用温度]
121℃
[最大使用圧力]
20.7MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
＜1×10 -9 atm cc/sec

◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇

[流量]
0～8550Ｌ/ｍｉｎ
[フィルターメディア]
PTFE
[その他材質]
フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度
[最大使用温度]
150℃
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
＜1×10 -9 atm cc/sec

◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇

[流量]
0～5700Ｌ/ｍｉｎ
[フィルターメディア]
PTFE
[その他材質]
フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度
[最大使用温度]
150℃
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
＜1×10 -9 atm cc/sec

◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇

[流量]
0～2900Ｌ/ｍｉｎ
[フィルターメディア]
PTFE
[その他材質]
フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度
[最大使用温度]
150℃
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
＜1×10 -9 atm cc/sec

◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇

[流量]
0～2100Ｌ/ｍｉｎ
[フィルターメディア]
PTFE
[その他材質]
フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度
[最大使用温度]
150℃
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
＜1×10 -9 atm cc/sec

◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇

[流量]
0～700Ｌ/ｍｉｎ
[フィルターメディア]
PTFE
[その他材質]
フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度
[最大使用温度]
150℃
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
＜1×10 -9 atm cc/sec

◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇

[流量]
0～300Ｌ/ｍｉｎ
[フィルターメディア]
PTFE
[その他材質]
フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度
[最大使用温度]
121℃
[最大使用圧力]
5.16MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
＜1×10 -9 atm cc/sec

◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇

[流量]
0～100Ｌ/ｍｉｎ
[フィルターメディア]
PTFE
[その他材質]
フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度
[最大使用温度]
121℃
[最大使用圧力]
20.7MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
＜1×10 -9 atm cc/sec

◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇