上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日：2020/02
セトラ社のモデル２２４は特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサです。 セトラ社のモデル２２４は特殊ガスのモニターと制御用に開発されたウルトラクリーンセンサです。モデル２２４はパージ効果の高い流線型のセンサチャンバを持ち、ガスの流れによる瞬時の温度変化の条件下でも優れた安定性を実現するように設計されています。センサチャンバは３１６Ｌ（ＶＡＲ材）を０．１８Ｒａに電解研磨されおり独自の静電容量センシング技術で高精度で安定した出力信号を供給します。オプションで多様なチューブ内径と面シール継手が用意されています。堅牢な構造で配管のねじれ、溶接時の熱衝撃など組み付け時のトラブルを減少させます。また８５℃までのベーキング処理が可能です。全品ヘリウムリークテストを実施しています。関連情報
セトラ社 ウルトラクリーン圧力センサ モデル２２４シリーズ
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センサチャンバは３１６Ｌ（ＶＡＲ材）を０．１８Ｒａに電解研磨されおり独自の静電容量センシング技術で高精度で安定した出力信号を供給します。
オプションで多様なチューブ内径と面シール継手が用意されています。
堅牢な構造で配管のねじれ、溶接時の熱衝撃など組み付け時のトラブルを減少させます。
また８５℃までのベーキング処理が可能です。全品ヘリウムリークテストを実施しています。
セトラ社 ウルトラクリーン圧力センサ モデル２２５シリーズ
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デッドスペースが１．８ｍＬと小さくパージが容易に行えます。
接ガス部はＳＵＳ３１６ＬのＶＡＲ材を０．１８Ｒａの電解研磨処理しており、全品ヘリウムリークテストを行っています。
スライド式カバーになっておりゼロ、スパンの調整が容易に行えます。
わずかなダイヤフラムの変化の静電容量を検出し独自のチャージバランス原理を使用したカスタムＩＣにより高精度のリニアな直流電気信号に変換します。
電気接続は１．８ｍ多芯ケーブル又は４ピン差込コネクタが用意されています。
真空センサ『730シリーズ』
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【仕様】
◎圧力範囲：0～1kPaから0～100kPa
◎精度：±0.5%読み値(±0.25%オプション)
◎補償温度：0～50℃
◎使用電源：DC12～30V
◎長期安定性：±0.5％FS／年
◎応答性：20msec
◎過負荷耐圧：300kPa
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エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
