上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日:2019/06
高性能ガスフィルターの紹介です GasProasProフィルターは、様々なグレードの半導体プロセスガスとCDA(クリーンドライエア)のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。詳細はカタログをダウンロード、またはお問い合わせください。
関連情報
GasPro 高温用ガスフィルター TEM-700シリーズ
-
[0.01ミクロンフィルター]
最大66.6666%のろ過精度(@0.01ミクロン)
[最大使用温度]
400℃
[最大使用圧力]
1.72MPa
[グラスマイクロファイバー]
100%グラスマイクロファイバー(SUS316Lメッシュで支持)
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
<1×10 -9 atm cc/sec
◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇
GasPro PTFE ガスフィルター TEM-100シリーズ
-
[流量]
0~8550L/min
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度
[最大使用温度]
不活性ガス中 80℃
CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせください
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
<1×10 -9 atm cc/sec
◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇
GasPro PTFE ガスフィルター TEM-200シリーズ
-
[流量]
0~5700L/min
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度
[最大使用温度]
不活性ガス中 80℃
CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせください
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
<1×10 -9 atm cc/sec
◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇
GasPro PTFE ガスフィルター TEM-300シリーズ
-
[流量]
0~2900L/min
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度
[最大使用温度]
不活性ガス中 80℃
CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせください
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
<1×10 -9 atm cc/sec
◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇
GasPro PTFE ガスフィルター TEM-400シリーズ
-
[流量]
0~2100L/min
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度
[最大使用温度]
不活性ガス中 80℃
CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせください
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
<1×10 -9 atm cc/sec
◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇
GasPro PTFE ガスフィルター TEM-500シリーズ
-
[流量]
0~700L/min
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度
[最大使用温度]
不活性ガス中 80℃
CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせください
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
<1×10 -9 atm cc/sec
◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇
GasPro PTFE ガスフィルター TEM-800シリーズ
-
[流量]
0~300L/min
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度
[最大使用温度]
不活性ガス中 80℃
CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせください
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
<1×10 -9 atm cc/sec
◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルターTEM-900シリーズ
-
[流量]
0~30L/min
[フィルターメディア]
PTFE
[その他材質]
PTFE/FEP/FKM
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度
[最大使用温度]
121℃
[最大使用圧力]
20.7MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
<1×10 -9 atm cc/sec
◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1100
-
[流量]
0~8550L/min
[フィルターメディア]
PTFE
[その他材質]
フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度
[最大使用温度]
150℃
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
<1×10 -9 atm cc/sec
◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1200
-
[流量]
0~5700L/min
[フィルターメディア]
PTFE
[その他材質]
フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度
[最大使用温度]
150℃
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
<1×10 -9 atm cc/sec
◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1300
-
[流量]
0~2900L/min
[フィルターメディア]
PTFE
[その他材質]
フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度
[最大使用温度]
150℃
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
<1×10 -9 atm cc/sec
◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1400
-
[流量]
0~2100L/min
[フィルターメディア]
PTFE
[その他材質]
フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度
[最大使用温度]
150℃
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
<1×10 -9 atm cc/sec
◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1500
-
[流量]
0~700L/min
[フィルターメディア]
PTFE
[その他材質]
フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度
[最大使用温度]
150℃
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
<1×10 -9 atm cc/sec
◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1800
-
[流量]
0~300L/min
[フィルターメディア]
PTFE
[その他材質]
フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度
[最大使用温度]
121℃
[最大使用圧力]
5.16MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
<1×10 -9 atm cc/sec
◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇
GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1900
-
[流量]
0~100L/min
[フィルターメディア]
PTFE
[その他材質]
フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度
[最大使用温度]
121℃
[最大使用圧力]
20.7MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
<1×10 -9 atm cc/sec
◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇
GasPro TEM 高性能ガスフィルター選定ガイド
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Porvairのガスフィルターは豊富な継手をご用意しています。
継手例:VCR、VCO、コンプレッションフィッティング、面シール、突合せ溶接、NPT、Tri-clamp他
※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。
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エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部