エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部

GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1300

最終更新日: 2019-07-04 15:21:51.0

  • カタログ

半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。

GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。

メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。
様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。

[流量]
0~2900L/min
[フィルターメディア]
PTFE
[その他材質]
フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン
[3nmフィルター]
多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度
[最大使用温度]
150℃
[最大使用圧力]
1.72MPa
[クリーンルーム製造]
クリーンルームで製造されており、パーティクルフリー、ケミカルフリー、有機物質フリーでのハンドリング作業
[100%ヘリウムリークテスト]
<1×10 -9 atm cc/sec

◇◇◇詳細は製品カタログをご覧ください◇◇◇
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 TEM-1300
用途/実績例 ・Point-of-use半導体特殊ガスろ過
・不活性ガスおよび特殊ガスの供給
・大流量超高純度不活性ガスおよび特殊ガス
・半導体、TFTフラットパネルディスプレイ、シリコンウエハー製造、太陽光発電/ソーラープロセスガス

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