シュマルツ製ウェハーグリッパーSWGmシリーズ
主な特長:
1. 吸着面が5インチおよび6インチのシリコンウェハー、セルと
同サイズであり、吸着時の負荷を軽減しながら安定した搬送を実現
2. 吸込み量増加ブースターを装着可能な機種をラインアップし、
吸込み量が向上
3. ホースを接続し、任意の場所で排気ができるため、
クリーンルームでの使用が可能
4. コンパクトかつ軽量で、高速搬送に最適
5. パラレルリンクロボット用フランジや、緩衝用パッド、センサーを
追加可能なモジュール構造
主な特長:
1. 吸着面が5インチおよび6インチのシリコンウェハー、セルと
同サイズであり、吸着時の負荷を軽減しながら安定した搬送を実現
2. 吸込み量増加ブースターを装着可能な機種をラインアップし、
吸込み量が向上
3. ホースを接続し、任意の場所で排気ができるため、
クリーンルームでの使用が可能
4. コンパクトかつ軽量で、高速搬送に最適
5. パラレルリンクロボット用フランジや、緩衝用パッド、センサーを
追加可能なモジュール構造