上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
価格は低廉でありながら搭載しているシーケンサ。各アッシング条件の管理を行うことが出来る高性能でコストパフォーマンスに優れた装置。
小型の電力整合方式マッチャーを採用しており、プラズマ整合の高速化を実現しております。整合時間の短縮化により、プラズマ着火時における素子へのチャージアップダメージの低減を実現しております。
また本体以外はＰＵＭＰのみの省スペース化を実現しております。
また本体以外はＰＵＭＰのみの省スペース化を実現しております。
関連情報
バッチ式プラズマ処理装置 WPA-600S
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【仕様】
○処理方式 同軸バレル型
○処理室 円筒・縦型・石英チャンバー
○ＲＦ電源 600～2000Ｗ 13.56ＭＨｚ オートチューニング
○処理ガス Ｏ２ 1系統増設可（オプション）
○パージガス Ｎ２
○処理ステップ 10レシピ（3ステップ）＋10ヒーターレシピ
○ウエハーサイズ
●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。
豊富な実績！プラズマ処理加工【小ロット・短納期に対応！】
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お客様のニーズに合わせて、プラズマ処理をいたします。
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■プラズマ関連事業■
プラズマ応用装置の開発、製造、販売
【プラズマ装置】
・自社製品(カタログ品）の販売
・お客様仕様カスタム製品の開発
【サポート業務】
・既存のアッシング装置の各種改造
・メンテナンス
・据付/立上のサポート業務
お問い合わせ
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株式会社エスクラフト
