上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。
本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。
コントロール・パネル上の操作のみでDP（ダイレクトプラズマ）モードとRIE（リアクティブイオンエッチング）モードの２つのプラズマモードを切り替えられ、BGAなど実装プロセスでのダイアタッチの接着性改善・封止性改善など、多様なプロセス用途に利用できます。
コントロール・パネル上の操作のみでDP（ダイレクトプラズマ）モードとRIE（リアクティブイオンエッチング）モードの２つのプラズマモードを切り替えられ、BGAなど実装プロセスでのダイアタッチの接着性改善・封止性改善など、多様なプロセス用途に利用できます。
関連情報
バッチ式プラズマクリーナー PT-655S
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【仕様】
○処理方式 平行平板プラズマ励起方式（ＤＰ／ＲＩＥ切替可）
○処理室 アルミニウム（A5052）製
○ステージ段数 標準3ステージ（オプション 増設1ステージ対応可）
○チャンバー寸法 幅500×奥580×高500ｍｍ
○ステージ寸法 幅340×奥420ｍｍ
○ＲＦ電源 600Ｗ 13.56ＭＨｚ オートチューニング
○処理ガス O2、Ar（オプション 1ライン増設可）
○パージガス N2（スローライン有）
○処理ステップ 10レシピ（3ステップ）
○真空ポンプ ロータリーポンプ 1300L/min
○本体寸法 幅880×奥880×高1600ｍｍ
○本体重量 約400kg
●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。
豊富な実績！プラズマ処理加工【小ロット・短納期に対応！】
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お客様のニーズに合わせて、プラズマ処理をいたします。
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■プラズマ関連事業■
プラズマ応用装置の開発、製造、販売
【プラズマ装置】
・自社製品(カタログ品）の販売
・お客様仕様カスタム製品の開発
【サポート業務】
・既存のアッシング装置の各種改造
・メンテナンス
・据付/立上のサポート業務
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株式会社エスクラフト
