・4象限ソース及び測定
・高精度な電圧、電流測定対応
・最高精度1pA
・高速測定:1M ADCサンプリング/NPLC(0.00005PLC-10PLC)
・SCPIコマンド対応
・高精度な電圧、電流測定対応
・最高精度1pA
・高速測定:1M ADCサンプリング/NPLC(0.00005PLC-10PLC)
・SCPIコマンド対応
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