最終更新日:
2022-12-19 15:22:52.0
層流や吸排気の管理、エアーの流れ方向の検知に。防爆エリアや高温環境にも対応
当社が取り扱う独・ヘンツ社製の『風速センサ』は、半導体やフィルム、
医薬・食品など様々な業界のクリーンルームで採用されています。
【ラインアップ例】
■サーマル式風速センサ「TA10シリーズ」
層流や吸排気の流速を適切に管理することが可能
■ベーン式風速センサ「ZS16/25/30シリーズ」
最高500℃の高温環境でも層流の管理が可能
ZS30タイプは風速と風向きを検知し、ライン内のエアーの
流れ方向を検知可能（オプション）
■ヴォルテックス式風速センサ「VA40シリーズ」
耐薬品性に優れ、防爆ブースでの使用にも対応可能
このほか、センサの付け替えが可能なハンディ型の
「風速計測システム」などもご用意しています。
※クリーンルームでの適用例も紹介された事例資料を進呈中。
“PDFダウンロード”よりご覧いただけます。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報
【用途例】
■クリーンルームの天井から降下する層流や吸排気の管理
■ウェハー製造工程における洗浄・乾燥による異物除去でのエアー計測
■金型の異物除去におけるエアー計測
■クリーンルーム全体、または局所的なエアー計測
■フィルム製造工程における塗布・乾燥ラインでの風量・風向きの管理
■GMPに基づいた医薬品製造におけるプロセス管理
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