最終更新日:
2022-06-28 12:52:41.0
ダイサ排水を再利用！装置のコンパクト化により設置スペースの制限が少なくなりました
某半導体製造装置メーカー様は、ダイシング工程からの排水リサイクル実現を
目標に掲げていました。
そこで当社は、排水の回収で環境負荷低減が実現できる、使い勝手のよい
水処理装置の開発を進め、精密ろ過技術を導入。
その結果、環境負荷やランニングコストを低減することができ、更に装置の
コンパクト化により、メンテナンスが簡素化されました。
【事例概要】
■背景
・ダイシング工程からの排水リサイクル実現を目標に掲げている
■解決方法
・ダイシング工程から排出される切削屑をMF膜で処理
・回収水はリサイクルされ洗浄用水に再現
・恒温水装置を組込み一体型でコンパクトにする
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【効果】
■環境負荷もランニングコストも低減
■装置のコンパクト化により設置スペースの制限が少なくなり多面的応用が可能となった
■装置メンテナンスが簡素化され経済的メリットを与える
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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