
【その他の特長】
■時間、温度、圧力ベースで柔軟なプロセス構築が可能
■温度と圧力の測定データをPCへ保存可
■真空チャンバー内の温度測定用熱電対6本を装備
■5つのガスラインで柔軟なプロセス構築が可能
■ギ酸濃度モニター(オプション)との連動も可
※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■時間、温度、圧力ベースで柔軟なプロセス構築が可能
■温度と圧力の測定データをPCへ保存可
■真空チャンバー内の温度測定用熱電対6本を装備
■5つのガスラインで柔軟なプロセス構築が可能
■ギ酸濃度モニター(オプション)との連動も可
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