液膜、エアー膜生成ノズル「スリットノズルヘッダー」
高精度の均一性を有する液膜、エアー膜を生成するスリット型ノズル。
液体用、気体用、兼用タイプがあります。
ガラス基板の洗浄、薬液コート、エアーナイフなどの用途に最適です。
最大スリット長4800mm、最小スリット幅0.05mm。
大型ガラス基板にも完全対応します。
高精度の均一性を有する液膜、エアー膜を生成するスリット型ノズル。
液体用、気体用、兼用タイプがあります。
ガラス基板の洗浄、薬液コート、エアーナイフなどの用途に最適です。
最大スリット長4800mm、最小スリット幅0.05mm。
大型ガラス基板にも完全対応します。