上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
高性能で安定した重量測定が可能。CZ法 単結晶育成引上げ装置用ロードセル
◆T2Y1型ロードセルは、単結晶育成時の初期工程と自動直径制御(ADC)に使用される高性能ロードセルです。回転しながら成長する単結晶の重量を正確で安定した電気出力に変換します。
◆主にチョクラルスキー(CZ)法による引上げ装置の重要なセンサとして使用できるよう、ロードセル検出部には改良に改良を重ね、長年の研究成果をもとに 開発された独特の荷重センサを用いました。今までにない高性能の実現で、結晶成長工程の全自動化に威力を発揮します。
◆ロードセルの使用温度範囲では補償回路の働きにより、ロードセル自体では冷却用の不活性ガスを必要としません。
◆ 定格容量 3kgf~150kgf
♦ 従来品(T2X1)より製法改良により安価になりました。
◆主にチョクラルスキー(CZ)法による引上げ装置の重要なセンサとして使用できるよう、ロードセル検出部には改良に改良を重ね、長年の研究成果をもとに 開発された独特の荷重センサを用いました。今までにない高性能の実現で、結晶成長工程の全自動化に威力を発揮します。
◆ロードセルの使用温度範囲では補償回路の働きにより、ロードセル自体では冷却用の不活性ガスを必要としません。
◆ 定格容量 3kgf~150kgf
♦ 従来品(T2X1)より製法改良により安価になりました。
関連情報
高性能のまま低価格を実現!『単結晶育成引上工程用ロードセル』
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【その他詳細】
◆不感帯もなく、微妙な制御
分解能は無限大。不感帯がなく、ごく微小な重量変化やシードタッチも逃さず検出。
◆高性能と安定性の両立で全自動化
非直線性、ヒステリシス、繰り返し性、クリープなど諸特性の高性能化と安定性を両立。
結晶成長の初期育成から直径自動制御完了にいたるまでの全自動化が実現
◆破損しにくい設計
◆定格容量:3kg〜50kg
◆振動の影響を受けにくい剛性構造
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株式会社テンサー センサーシステム事業部