スガツネ工業株式会社

テクノフィールド事業部

【クリーンルーム向け機構部品】パーティクルが発生しにくい部品

最終更新日: 2022-08-26 17:56:59.0
半導体・液晶製造装置向け機構部品

◆クリーンヒンジ HG-CV・HG-CV-65N型
摺動部に樹脂キャップを装着しており、金属同士の磨耗がありません。

◆クリーンヒンジ HG-CV-127
摺動部に内蔵されたスラストベアリングとニードルベアリングが金属同士の磨耗を抑えます。

◆クリーンマグネットキャッチ
マグネットを樹脂で包んでいるため、錆を防止、金属粉が発生しません。

◆クリーンステー
摺動部の樹脂パーツが金属同士の摩耗を防止し、さらに樹脂カバーにより金属粉の飛散を防止します。

◆クリーンファスナー
フック接触部に樹脂コーティングをほどこし、回転軸に樹脂ブッシュを使用しているため、金属同士の摩耗がなく、金属粉が発生しません。

◆ハンドル MH-P型 SEMI規格準拠  PAT
・手袋を着けていてもつかみやすい形状です(SEMI規格、SEMI S8-0308に準拠)。
・鉛フリーの塩化ビニル樹脂(PVC)を使用し、耐候性、耐薬品性に優れています。
・その他SMI規格準拠製品もございます。

※2020年4月時点の情報です。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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用途/実績例 半導体工場、液晶製造工場などクリーンルームの機器などに

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