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仕様
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● 波長:266 nm
● パルス繰り返し:1 Hz ~ 1 KHz可変
● パルスエネルギー:100 µJ
● 平均パワー:> 100 mW @ 1 kHz / > 10 mW @ 100 Hz
● パルス幅:< 5 ns
● パワー安定性:< 1 %
● ビーム径:1 mm
● ビーム広がり角:< 2.8 mrad
● レーザーヘッド寸法:291×205×114mm
● 重量:5.6 kg
● 冷却:空冷
仕様
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● 波長:266 nm
● パルス繰り返し:1 Hz ~ 1 KHz可変
● パルスエネルギー:100 µJ
● 平均パワー:> 100 mW @ 1 kHz / > 10 mW @ 100 Hz
● パルス幅:< 5 ns
● パワー安定性:< 1 %
● ビーム径:1 mm
● ビーム広がり角:< 2.8 mrad
● レーザーヘッド寸法:291×205×114mm
● 重量:5.6 kg
● 冷却:空冷