高反射@193nm IBSコーティングミラー・モニター募集 | サンインスツルメント株式会社本社

2023-04-05 00:00:00.0
高反射@193nm IBSコーティングミラー・モニター募集

ArFエキシマレーザー用高反射ミラー

その他・お知らせ掲載開始日: 2023-04-05 00:00:00.0

リトアニアのIBSコート光学系メーカー・OptomanがArFエキシマレーザー（193nm）向けのIBSコーティングミラーを開発しました。入射角45°で>98%の反射率を実現しました。Optomanは本製品をモニターしてくれる方を募集しています。サイズ・入射角は応相談です。以下の点についてレポートしていただければ無償でサンプルを提供します。

◆193nm IBSミラー・モニター条件◆
以下についてフィードバックしてください。
○ 耐久性
○ 反射率
○ その他気になった点

不明な点等ございましたらお問い合わせください。どうぞよろしくお願いいたします。

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◆IBS（Ion-Beam Sputtering）コートにより長寿命、高い損傷閾値、低吸収、高面精度、厳密なスペクトル要求を実現。 ◆ミラーやレンズからビームスプリッタ、マルチ波長、偏波ポラライザで様々なカスタムニーズに対応。・損傷閾値　>80J/cm2, 1030nm, 10ns 　>30kW/cm (>900kW/cm2), 1070nm CW 　>0.3J/cm2, 1030nm, 50fs, 150kHz ・超高反射ミラー　R >99.998% ・超高精度薄膜ポラライザ　Tp/Ts ratio >10000:1 ・超低吸収コーティング　<1ppm ・対応波長レンジ　220nm - 5000nm

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