【その他の特長】
■3重構造のメタルダイアフラムを使用し、高純度ガスをリークフリーで昇圧
■圧力レンジ:最大 210MPa
■流量レンジ:最大 1,000NM3/h
■ミニサイズの「Sシリーズ」から大型の「JLAシリーズ」まで6種類をラインナップ
■一段圧縮式から多段圧縮式マルチタイプまで幅広い圧力レンジに対応
■安全システムも万全の対応
・ダイアフラム破損リーク検知、自動発停、圧力検知、流量検知、温度検知など
■対応ガス種類・例
・水素、メタン、エチレン、フッ素、塩素、硫化水素、アンモニア、一酸化炭素、
・二酸化炭素、オン、キセノン、クリプトン、フレオン、高純度ヘリウム、
・高純度窒素、アルゴンなど
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■3重構造のメタルダイアフラムを使用し、高純度ガスをリークフリーで昇圧
■圧力レンジ:最大 210MPa
■流量レンジ:最大 1,000NM3/h
■ミニサイズの「Sシリーズ」から大型の「JLAシリーズ」まで6種類をラインナップ
■一段圧縮式から多段圧縮式マルチタイプまで幅広い圧力レンジに対応
■安全システムも万全の対応
・ダイアフラム破損リーク検知、自動発停、圧力検知、流量検知、温度検知など
■対応ガス種類・例
・水素、メタン、エチレン、フッ素、塩素、硫化水素、アンモニア、一酸化炭素、
・二酸化炭素、オン、キセノン、クリプトン、フレオン、高純度ヘリウム、
・高純度窒素、アルゴンなど
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。