先日の「SEMICON (R) Japan Virtual」では、弊社ブースへお越しいただき誠にありがとうございました。
出展製品や技術資料などに関してご不明な点または追加のご説明が必要な場合は、お気軽にスウェージロック・ジャパンへお問い合わせください。
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SEMICON Japan Virtual出展製品のご紹介
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ALD（原子層蒸着）用バルブを筆頭に、お客さまの「効率化／コスト削減／技術革新」に貢献する製品やサービスを展示いたしました。
•ALD（原子層蒸着）ダイヤフラム・バルブ
•超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ、DRPシリーズ
•ホース ／フレキシブル･チューブ
•各種ツール（円周溶接機 M200パワー・サプライを含む）
ブースにてご紹介した製品やサービスの活用事例など、改めてご提案の機会をいただけますと幸いです。
今後とも、スウェージロック・ジャパンをどうぞよろしくお願いいたします。
関連製品情報
さらなる領域へ、ALDバルブ技術のブレイクスルー
Swagelok 原子層蒸着(ALD)用バルブは、高速開閉と再現性に高い作動機能を有し、非常に優れたサイクル・ライフを実現します。さらなる微細化・高度化へのニーズに対応すべく、大流量・高温用途向けの「ALD 20」を製品ラインアップに追加しました。ALD（原子層蒸着）用途での性能を最適にするため、 アクチュエーターやインジケーター、ソレノイドなど各種オプションも取り揃えています。 【特長】 非常に優れたサイクル・ライフを実現 高速の開閉機能 （オープン／クローズに要する時間は5ミリ秒未満） 高温下でも安定した流量と再現性を実現 膨潤とコンタミネーションへの耐性を高め、シール性能の優れたシート 流路から障害物を一掃し、たまり部分を最小限に抑えるボディ・デザイン ＜3つの課題に 超高純度用 ALD20バルブ＞ 1. 大流量：既存ALDバルブのほぼ3倍にあたる最大1.7Cvの流量係数を実現（当社比） 2. 高温：アクチュエーター部分を含め、バルブ全体をガス・ボックスに入れて使用することが可能 3. 高性能：耐食性に優れているため、腐食性の高い流体も使用可能
スラリーや酸に対する性能が向上したフルオロポリマー製ダイヤフラム・バルブ
DRPシリーズは、独自の半球形のバルブ流路デザインとダイヤフラム形状により、バルブ内部における流体の 溜り部分を削減させ、接液・接ガス表面を素早く洗浄することができます。特に、スラリーを使用する CMPプロセスにおいては、スラリーの突発的な変化の可能性を低減させるために、流体のせん断の発生を最小限に 抑えています。次世代PTFE製ダイヤフラムは、その独自の形状で、作動時の応力を最小化し、耐久性、シールの 完全性、長いサイクル・ライフを促進します。また、ダイヤフラムの厚さを最大限に確保して、酸が透過する可能性を最小に低減しています。同製品は、高い耐化学薬品性と純度を実現するために、接液・接ガス部に、次世代フッ素樹脂、デュポン(R)テフロン(R)を採用しております。さらに、「超純水および液体化学薬品配分システム内に使用するポリマー製部品の暫定仕様」SEMI(R)F57-0301の要件に適合しています。
優れた断熱性と柔軟性を兼ね備えたホースで課題解決。多様なラインナップであらゆる設備や装置に対応
半導体デバイス製造の世界では、特に精度と清浄度が優先されます。 スウェージロックのホース製品は、低温流体の移送、高圧・高温環境や真空環境での使用など、幅広いニーズに対応する製品ラインアップで、長期的な使用を実現します。 【特長】 ■優れた耐久性 ■柔軟性に優れ、レイアウトの自由度が高い ■薄く、断熱性に優れた断熱材を採用しているため、従来の半分の口径 ■高い断熱性を保持するため、CO2削減や省エネ対策に貢献 ■必要な長さによる納入が可能で、取り付け作業コストや在庫コストを削減 ■色分け可能なポリオレフィン製カバーにより、目視でのライン識別が可能
付加価値の高い流体システムを構築！高い技術力と専門知識で、お客さまのビジネス・ニーズを満たします。
配管ユニット製作サービス「カスタム・ソリューションズ」は、流体システムにおいて実績を持つスウェージロックが、 取り扱い製品にお客様のご要望に沿った組立/加工を施して提供するサービスです。 配管の曲げ加工や溶接などの基本的な作業はもちろん、必要に応じて他社の製品を調達し、組み込むことも可能です。 【特長】 ■一貫した品質および信頼性 ■迅速かつ有効なサービス ■高い技術力およびアプリケーションに関する専門知識 ■付加価値の高いアセンブリー ■優れたプロセスおよび手順 ■すべての製品およびサービスに付帯する保証 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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