超高純度用締め切り型ダイヤフラム・バルブ
スウェージロックのダイヤフラム・シール・バルブを使えば、高純度システムや超高純度システムにおけるニーズに対応することができます。ダイヤフラム・バルブは、幅広い用途向けに、さまざまなサイズ、材質、形状を
ご用意しております。
【特徴】DP シリーズ
■ 超高純度用
■ ボディ材質:316L VIM-VAR ステンレス鋼
■ モデル:低圧型、高圧型
■ エンド・コネクション・タイプ:VCR(R) メタル・ガスケット式面シール継手、チューブ突き合わせ溶接、集積モデル
■ アクチュエーター・タイプ:手動式、空気式
ダイヤフラム・バルブは、流路から障害物を一掃したデザインでたまり部を最小限に抑え、パージを促進することで、システム効率を向上させると共に、効率的に流れを締め切ります。さまざまなサイズや材質はもちろん、原子層蒸着(ALD)用、サーマル・イマージョン、スプリングレス・タイプなど、各種形状を選ぶことができ、高純度用途および超高純度用途でのシステム要件に適合します。
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