UPDATE
最終更新日:
2024-05-01 11:11:49.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日:2020/09/25
サブナノレベル表面の粗さ・段差形状を非接触で迅速に計測する低価格装置! 防振台やクリーンルーム不要! サンプル試験実施中!
1)計測時間の短縮:100umx100um25秒間、研磨加工機の近くで全数検査も可能、歩留まり向上
2)低価格設定:クリーンルーム、防振台など不要で設置場所を選ばない
3)光ヘテロダイン干渉計測により理論上外部からの振動を相殺
4)非接触計測:レーザー計測で対象物と接触しない
5)広範囲の計測可能:ライン計測、面計測
6)簡単操作:対象物の前処理や真空は不要
7)高分解能:高さ方向0.1nm可能で、AFMと互換性保持
お問い合わせ
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有限会社シスコム(SysCom)