有限会社シスコム(SysCom)

ナノ表面粗さ・形状計測器 ナノセブン

UPDATE   最終更新日: 2024-05-01 11:11:50.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

サブナノレベルの表面粗さ・形状計測器 精密表面加工、CMP加工の品質評価、ウェハーの検査にも最適
光ヘテロダイン干渉計測により、サブナノレベル(分解能0.1nm)の表面粗さ、段差形状を短時間、広範囲、非接触で計測します。
研磨加工機の近くで、全数検査も可能で歩留まり向上に。防振台や付帯設備不要で低価格なシステム構成。操作も簡単で高分解能です。

関連情報

ナノ表面粗さ・形状計測器 ナノセブン
ナノ表面粗さ・形状計測器 ナノセブン 製品画像
計測方式:光ヘテロダイン干渉計測
高さ分解能:0.1nm
基準高さ計測範囲:0.5~300nm
基準計測範囲:X軸45mm Y軸45mm
粗さ Ra:0.1~50nm、段差1~150nm
スクラッチ、形状等
本体寸法:W313xD614xH428mm、重量27Kg

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