当社では、独自のスクリュー形状(Queen Bee Screw)により
驚くべき低速(3600min-1/60Hz、3000min-1/50Hz)を実現した
『ドライ真空ポンプ』を設計・製造・販売しています。
化学・医薬、自動車・電子部品、半導体・液晶など幅広い分野で活躍。
各種ラインアップから用途に応じた製品をお選びいただけます。
【特長】
■低速運転で軸受等の長寿命化のほか、低騒音化・低振動化を実現
■凝縮液やダストがポンプ内部に滞留すること無く、スムーズに排気可能
■シンプルな構造で分解・組立が容易
■優れた到達圧力が得られ、広範な圧力領域で連続運転可能
■接ガス部は特殊コーティングにより優れた耐食性を発揮
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報
【ラインアップ】
MDP-Vシリーズ(到達圧力:0.5~2Pa、排気速度:5500~22000L/min)
MDPシリーズ(到達圧力:0.7~100Pa、排気速度:1100~35000L/min)
SDV-Rシリーズ(到達圧力:10~30Pa、排気速度:850~2800L/min)
SDVシリーズ(到達圧力:20~300Pa、排気速度:500~11500L/min)
SLTシリーズ(到達圧力:0.7~1.3Pa、排気速度:1100~3000L/min)
TDシリーズ(到達圧力:0.7~4Pa、排気速度:650~3000L/min)
BEHシリーズ(到達圧力:0.08~0.13Pa、排気速度:4500~180000L/min)
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納期 |
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型番・ブランド名 | 真空ポンプ |
用途/実績例 | 真空成形、真空包装、真空含浸、真空運搬、多目的真空源 真空乾燥、真空凍結乾燥、真空蒸留、真空脱泡、真空滅菌 ガス回収、PSA装置、真空洗浄、真空熱処理炉、薄膜形成装置 エッチング装置、アッシング装置、コーターデベロッパー、リチウムイオン電池 |
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大晃機械工業株式会社 陸上事業部