最終更新日:
2022-07-12 16:49:22.0
ガラス基板搬送用カセットをシンプルに位置決めするステージユニットです。昇降式タイプもあります。
各工程におけるバッファー部で、ガラス基板搬送用カセットを、シンプルに位置決めするステージユニットです。
特許取得商品です。
滑るように全方向に移動できるILSステージユニットは、コンパクトにもかかわらず大荷重を受けることができ、非常にスムースな動きでカセットを位置決めできます。
位置決め完了後、AGVによりカセット受け渡し後の無負荷状態には、可動部が常に原点に復帰し、次のカセットを待ちます。
また、可動部をホールドさせることができるSタイプもあります。
基本情報
■井口機工製作所：クリーンルーム用位置決めステージ ILS型 仕様
○フリータイプ
可動距離：15mm
使用荷重：150kgf
本体材質：アルミ（アルマイト処理）
可動ステージ材質：SUS304
○ストッパータイプ
可動距離：5mm～50mm
使用荷重：30kgf～800kgf
本体材質：アルミ（アルマイト処理）
可動ステージ材質：SUS304／UHMWPE／SUS304+ESD UHMWPE
○昇降式タイプ
水平ストローク：±20mm
昇降ストローク：10mm
使用荷重：350kgf
本体材質：アルミ（アルマイト処理）
可動ステージ材質：SUS304+ESD UHMWPE
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | 株式会社 井口機工製作所 |
| 用途／実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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