最終更新日:
2024-06-27 09:06:17.0
ミリオンガイドを搭載し1μmの送り精度を実現した、アイセル独自の超高精度・高剛性の「ミリオンアクチュエータ」
高精度な幅広ローラの採用によりボールタイプと比べて10倍以上の高剛性を保ちながら低与圧化することで、転がり抵抗を極限まで抑え1μmの送り精度を実現したアクチュエータです。
高精度・高剛性なミリオンアクチュエータは、送り精度/たわみ量/繰り返し精度、3つの1µmを実現しています。
基本情報
アイセル:ミリオンアクチュエータ GMA 仕様
型 式 有効ストローク 軸方向定格推力
GMA2010M 10mm 30N
GMA2815M 15mm 50N
GMA4220M 20mm 150N
GMA6025M 25mm 300N
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | アイセル株式会社 |
用途/実績例 | ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
詳細情報
■ミラー・レンズの微調整
ステッパー等各種光学機器のレンズ・ミラー移動、微少角度調整に
ステッパー等各種光学機器のレンズ・ミラー移動、微少角度調整に
■アライメントステージのX・Y・θ軸調整
■カメラのフォーカス調整
■各種試験装置
■センサーの位置調整
■Zステージの位置決め
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高津伝動精機株式会社