テクネティクス・グループ・ジャパン株式会社

【採用事例】メタルシール:半導体製造用化学物質キャニスター

最終更新日: 2024-02-26 17:15:25.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

半導体分野向け低設計締付圧力Y『超高真空用デルタシール』
半導体分野向け低設計締付圧力Y『超高真空用デルタシール』 製品画像
【仕様】
■寸法:φ10~2000
■温度:-272℃~520℃(延性外被)、-272℃~700℃(低延性外被)
■漏れ量::*円形の場合10⁻¹²Pa・m³/sec.(10⁻¹¹atm.cm³/sec.)
      *取付側の品質に依存します。シール形状により異なります。

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