ポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小!研磨ウエハ洗浄に好適
KPM-5030はポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小した高圧ポンプユニットです。インバータ内蔵により流量特性を可変でき、外部信号により運転、停止ができます。半導体業界をターゲットとし研磨ウエハの洗浄に適しています。
【特長】
◆設置面積が小さくコンパクト設計
◆ポンプの選定により本仕様以外の流量、圧力に対応可能
※ご要望に応じたカスタマイズが可能です。半導体産業のみならず洗浄に関する案件をお持ちでしたらご相談下さい。
【仕様】
〇サイズ
・W598×D548×H1224(mm)
○重量 150Kg
○吐出流量、圧力
・33.5L/分、5MPa
○供給エア圧:0.4~0.7MPa
○純水仕様圧力:0.3~0.4MPa
○アラーム機能
供給水圧低下
インバータ出力異常
※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。
〇サイズ
・W598×D548×H1224(mm)
○重量 150Kg
○吐出流量、圧力
・33.5L/分、5MPa
○供給エア圧:0.4~0.7MPa
○純水仕様圧力:0.3~0.4MPa
○アラーム機能
供給水圧低下
インバータ出力異常
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価格情報 | - |
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納期 |
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型番・ブランド名 | KPM-5030 |
用途/実績例 |
【用途】 ・研磨ウエハの洗浄 |
ラインアップ
型番 | 概要 |
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KPM-5030 |
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