最終更新日:
2023-04-20 17:01:18.0
アライメントステージのX・Y・θ軸の調整等に！超高精度とコンパクトの両立を実現
『ミリオンアクチュエータ 超小型15角サイズ』は、超高精度・高剛性な
性能を有する直動のアクチュエータです。
高精度な幅広ローラの採用により、従来のボールタイプに比べ接触面積が
大きいため、3倍以上の高剛性を実現。また、剛性を保ちながら低予圧化に成功。
これにより転がり抵抗を極限まで抑え1μmの送り精度を達成しました。
その高い送り制度を活かし、露光機のミラー・レンズ・テーブルの高精度位置
決めにミリオンガイドが採用されています。
【特長】
■超高精度とコンパクトの両立を実現
■超小型15角サイズ
■ブラックとゴールドを基調にしたNEWデザイン
■高精度な幅広ローラの採用
■剛性を保ちながら低予圧化に成功
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、東京、多摩、神奈川、熊谷、栃木、山形に営業所がございますのでお気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様（抜粋）】
■型式：GMA1506A
■取付角：15×15mm
■有効ストローク：6mm
■軸方向推力
・定格：20N
・最大：40N
■送りねじ：精密研削ボールねじ C3級
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、東京、多摩、神奈川、熊谷、栃木、山形に営業所がございますのでお気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■各種光学機器のレンズ・ミラー移動、微小角度調整 ■アライメントステージのX・Y・θ軸の調整 ■カメラのフォーカス、位置調整 等 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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