上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
スモールサイズからラージサイズまで!スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で実施!
マスクのクリーン化は、製品歩留まり向上の必須条件!
蓄積された洗浄技術及び乾燥技術でマスクの高清浄化に大きく貢献
◆◇◆特長◆◇◆
◆ワークの スクラブ洗浄 ・ リンス ・ 乾燥 を一台の装置でスピーディーに行う
◆特殊洗浄ブラシにてワークに傷を付けず洗浄ムラなく精密洗浄を行う
◆縦型処理の為、ワークにストレスがかからない
◆少量多品種、R&D用途の基板洗浄にも最適
◆各サイズ専用ワークホルダーの用意とフリーサイズ対応ワークホルダーをご用意
◆ワーク接触部分は、樹脂にて対応
※各種オプションも用意。
※カスタム対応等、詳細はお気軽にお問い合わせください。
蓄積された洗浄技術及び乾燥技術でマスクの高清浄化に大きく貢献
◆◇◆特長◆◇◆
◆ワークの スクラブ洗浄 ・ リンス ・ 乾燥 を一台の装置でスピーディーに行う
◆特殊洗浄ブラシにてワークに傷を付けず洗浄ムラなく精密洗浄を行う
◆縦型処理の為、ワークにストレスがかからない
◆少量多品種、R&D用途の基板洗浄にも最適
◆各サイズ専用ワークホルダーの用意とフリーサイズ対応ワークホルダーをご用意
◆ワーク接触部分は、樹脂にて対応
※各種オプションも用意。
※カスタム対応等、詳細はお気軽にお問い合わせください。
関連情報
フォトマスク洗浄装置|PDP・大判フォトマスク用 TW-1000
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■主な特長
・ワークの スクラブ洗浄 ・ リンス ・ 乾燥 を一台の装置でスピーディーに行う
・特殊洗浄ブラシにてワークに傷を付けず洗浄ムラなく精密洗浄を行う
・縦型処理の為、ワークにストレスがかからない
・少量多品種、R&D用途の基板洗浄にも最適
・各サイズ専用ワークホルダーの用意とフリーサイズ対応ワークホルダーをご用意
・ワーク接触部分は、樹脂にて対応
※各種オプションも用意。
※カスタム対応等、詳細はお気軽にお問い合わせください。
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