"マスク洗浄といえばテクノビジョン" を合言葉にこれからも業界一、世界一を
目指して参ります。
台湾、中国、日本でLEDの生産が活発になり、それに伴いフォトマスク洗浄装置の受注が大手メーカーより相次いでいます。
テクノビジョンでは従来から培ってきたスクラブ洗浄術に加え、新たに薬液洗浄技術の開発に取り組んでまいりました。
◆スクラブ洗浄:主にパーティクルの除去
◆薬液洗浄:マスクに付着したレジストを除去
LED生産においては素子パターンのデザインルールL/Sが、サブミクロン領域には至っていないため、露光プロセスにはプロキシミティーまたはコンタクトアライナーが使用されます。
このため、マスク汚染に対してはレジスト除去とパーティクル除去機能をもった
洗浄装置が必要となります。
某大手LEDメーカーではマスク洗浄が月間5000枚以上に達し、有害薬液などの保護対策が必要とされています。
テクノビジョンの全自動マスク洗浄装置は、このような量産工場で対応できる、
安全かつ環境にやさしい唯一のコンパクト、スモールフットプリント洗浄装置です。
◆詳しくはお問い合わせください。
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