株式会社テクノビジョン 本社

2011-08-30 00:00:00.0

掲載開始日: 2011-08-30 00:00:00.0

企業ニュース

【大手メーカーで全自動フォトマスク洗浄装置の導入が増加しています!】

"マスク洗浄といえばテクノビジョン" を合言葉にこれからも業界一、世界一を
目指して参ります。

台湾、中国、日本でLEDの生産が活発になり、それに伴いフォトマスク洗浄装置の受注が大手メーカーより相次いでいます。

テクノビジョンでは従来から培ってきたスクラブ洗浄術に加え、新たに薬液洗浄技術の開発に取り組んでまいりました。
 ◆スクラブ洗浄:主にパーティクルの除去
 ◆薬液洗浄:マスクに付着したレジストを除去

LED生産においては素子パターンのデザインルールL/Sが、サブミクロン領域には至っていないため、露光プロセスにはプロキシミティーまたはコンタクトアライナーが使用されます。
このため、マスク汚染に対してはレジスト除去とパーティクル除去機能をもった
洗浄装置が必要となります。

某大手LEDメーカーではマスク洗浄が月間5000枚以上に達し、有害薬液などの保護対策が必要とされています。
テクノビジョンの全自動マスク洗浄装置は、このような量産工場で対応できる、
安全かつ環境にやさしい唯一のコンパクト、スモールフットプリント洗浄装置です。

◆詳しくはお問い合わせください。

新型マスク洗浄装置 TWC-300の製品画像です
新型マスク洗浄装置 TWC-300の製品画像です
縦型コンパクトタイプ フォトマスク洗浄装置TW-200
縦型コンパクトタイプ フォトマスク洗浄装置TW-200
関連リンク
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関連製品情報
フォトマスク洗浄装置 | 縦型コンパクトタイプ TWE-200 製品画像

スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナー

スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で実行 テクノビジョンのフォトマスク洗浄装置は、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナーです。 弊社では多様なお客様からのご要望にお応えするため、スモールサイズからラージサイズまでの幅広いフォトマスクに対応した洗浄装置、TWE-200、TW-300、TW-700、TW-1000 をご提供しています。

フォトマスク洗浄装置|PDP・大判フォトマスク用 TW-1000 製品画像

スモールサイズからラージサイズまで、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で実施!

テクノビジョンのフォトマスク洗浄装置は、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナーです。 弊社では多様なお客様からのご要望にお応えするため、スモールサイズからラージサイズまでの幅広いフォトマスクに対応した洗浄装置、TW-200、TW-300、TW-700、TW-1000 をご提供しています。

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