このたび、マスク洗浄を補助する、『簡易洗浄ユニット』をご用意いたしました。
簡易洗浄ユニットは、以下の「ケミカルユニット」、「スクラブユニット」、「ドライユニット」の3種類ございます。
・ケミカルユニット：マスク表面に付着したレジスト残渣や昇華物を推奨薬液にて溶解・剥離を行います。
・スクラブユニット：マスク表に付着したパーティクル等の汚れを推奨薬液と洗浄ブラシの併用でスクラブ洗浄を行います。
・ドライユニット：洗浄されたウエット状態のマスクを温水引上げにて乾燥を行います。
簡易洗浄ユニットは、お客様が既にご使用されている設備と併用して各ユニットのご選択ができます。
「加熱出来る薬液浸漬槽でレジストを溶解・剥離したい！」
「ブラシでスクラブ洗浄したい！」
「乾燥シミが気になるので乾燥だけがほしい！」
等々のご要望があれば、先ずはご相談ください。
組合せは自由に対応できます。
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