株式会社テクノビジョン 本社

製品・サービス

製品・サービス一覧

カセット/キャリア洗浄装置 (1)

ウェハーカセット、キャリア等の精密洗浄を行う、コンパクトな洗浄装置

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フォトマスク洗浄装置 (2)

フォトマスクの精密両面スクラブ洗浄装置。 数インチレベルからPDP用ラージサイズまで対応。

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簡易型マスク洗浄装置 (1)

スクラブ洗浄&リンスとHot純水乾燥の2槽式簡易型マスク洗浄装置。14インチマスク対応(オプションで薬液洗浄可)

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全自動マスク洗浄装置TWC-200A (1)

レジストとパーティクルを同時に除去する専用薬液対応のCassette to Cassette全自動マスク洗浄装置。

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簡易洗浄ユニット (1)

最大7インチマスクサイズまで対応できる簡易洗浄ユニット。

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UV(紫外線)オゾン洗浄装置 (1)

UV照射によりワーク表面の有機物汚染除去、表面改質を実施。精密洗浄、ファイナル洗浄等に最適。

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超純水用ヒーター(QHシリーズ) (1)

接液部に高純度石英および、PTFE(テフロン)を採用した超純水加熱用ヒーター

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ドライエアー用ヒーター(SHシリーズ) (1)

不活性ガス・クリーンドライエアー加熱用ヒーター。流体通路はオールステンレス電解研磨処理を採用

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テープマウンター (7)

ウェハー/テープ/ダイシングフレームを気泡なしで素早く貼付ける装置

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ウェハーエキスパンダー (3)

ダイシング後、チップ間隔を任意の幅で均一に拡張し、チップハンドリングを容易にします。

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UV硬化装置/UV照射装置 (5)

UV硬化型ダイシングフィルムの硬化用UV照射装置

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グリップリング (2)

テープやシートをピンと張った(拡張した)ままの状態で保持(グリップ)するダブルリングです。

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洗浄装置関連 (7)

半導体製造プロセスの前工程において使用する洗浄装置を中心とした製品群のご紹介
◆FOUP洗浄装置
◆SMIF&カセット洗浄装置
◆フォトマスク洗浄装置 縦型コンパクトタイプ
◆フォトマスク洗浄装置 PDP・大判用フォトマスク対応装置
◆新型マスク洗浄装置 TWC-300
◆紫外線オゾン洗浄装置
◆スーパークリーンヒーター

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後工程組立 (15)

半導体製造プロセスの後工程において使用する組立装置製品群のご紹介
◆多機能・フィルム貼り付け装置(ウェーハーマウンター)
◆ウェーハーエキスパンダー
◆UVフィルム硬化装置 高圧水銀ランプ仕様
◆UVフィルム硬化装置 ブラックライト仕様
◆UVフィルム硬化装置 LED光源仕様
◆グリップリング

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注目製品情報

  • 真空フィルム貼付装置|LP・テープマウンター 製品画像
    真空フィルム貼付装置|LP・テープマウンター
    『真空マウンター』は、ストレスを与えたくないワークに対応したモデルの真空フィルム貼付装置です。 ローラーでの破損問題を解決。 真空で貼り付けることでワークに気泡が入らず、貼り付け条件(真空度、着圧)を変更可能です。 デモテストご相談ください。 【特長】 ■ストレスを与えたくないワークに対応 ■ローラーでの破損問題を解決 ■ワークに気泡が入らない ■貼り付け条件を変更可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
  • UV(紫外線)フィルム硬化装置|LED光源仕様「UVC-300」 製品画像
    UV(紫外線)フィルム硬化装置|LED光源仕様「UVC-300」
    LED光源を使用した、UVフィルム硬化装置です。 従来の装置と同水準の装置価格のままで、ランニングコストを1/10以下に抑えることができます。 水銀灯やメタルハライド光源と比較して、硬化性能(硬化状態、硬化スピード)はより良好なレベルを実現しています。 その他、本装置は下側照射や上側照射をはじめ、カスタム仕様の対応、装置組み込み用途などのモジュール化にも対応いたします。
  • フィルム貼付装置|マニュアルマウンター FM-224シリーズ 製品画像
    フィルム貼付装置|マニュアルマウンター FM-224シリーズ
    ウェハーマウンター/テープマウンターとは、『ウェハー』『ダイシングフレーム』『各種フィルム/テープ』を気泡なしで瞬時に貼り付けるテープ貼り付け装置です。 ダイシングの工程で重要とされる”ウェハーへの均一なテープ貼り付け”を、容易に行うことができます。 テクノビジョンのウェハーマウンターは、研究開発を始めセミプロダクション用途まで、目的に合わせ幅広く装置の選択ができます。 マニュアルタイプのウェハーマウンターワークサイズは、 ■300mm(12インチ) ■200mm(8インチ) ■150mm(6インチ)と3機種を取り揃えています。 (無料貸出用デモ機もご用意) また、用途別にダイシング用途やバックグラインド用途として仕様別の装置があります。 貼付け対象はウェハーに限らず、パッケージ、ガラス、セラミック等様々なワークに対応出来るほか、ユーザーの特殊仕様に柔軟に合わせたカスタム対応も可能です。

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