研究開発を始め、セミプロダクション用途まで目的に合わせ幅広く装置の選択が可能
ウェハーマウンター／テープマウンターとは、『ウェハー』『ダイシングフレーム』『各種フィルム/テープ』を気泡なしで瞬時に貼り付けるテープ貼り付け装置です。
ダイシングの工程で重要とされる”ウェハーへの均一なテープ貼り付け”を、容易に行うことができます。
テクノビジョンのウェハーマウンターは、研究開発を始めセミプロダクション用途まで、目的に合わせ幅広く装置の選択ができます。
マニュアルタイプのウェハーマウンターワークサイズは、
■300mm（12インチ）
■200mm（8インチ）
■150mm（6インチ）と3機種を取り揃えています。
（無料貸出用デモ機もご用意）
また、用途別にダイシング用途やバックグラインド用途として仕様別の装置があります。
貼付け対象はウェハーに限らず、パッケージ、ガラス、セラミック等様々なワークに対応出来るほか、ユーザーの特殊仕様に柔軟に合わせたカスタム対応も可能です。
■主な特長
・瞬時にバブルフリー貼り付けが出来ます。
・貼付けローラーの自動平衡機構内蔵。
・円周カッター内蔵。
・水平カッター内蔵。
・セパレーター巻き取り機構内蔵。
・オプション：ヒーターユニット、ダンパー、静電気対策
・瞬時にバブルフリー貼り付けが出来ます。
・貼付けローラーの自動平衡機構内蔵。
・円周カッター内蔵。
・水平カッター内蔵。
・セパレーター巻き取り機構内蔵。
・オプション：ヒーターユニット、ダンパー、静電気対策
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FM-224シリーズ |
| 用途／実績例 |
【ダイシング用途】 ダイサーによるウェハーダイシング後、チップがバラバラにならないよう、ダイシング時にカットされるウェハを保持するために裏面にダイシングテープを貼り付けます。 【保護（バックグラインド／BG）用途】 ウェハーの薄層化等のためにウェハー裏面のバックグラインドを実施する際、表面の回路を保護するために保護用テープを貼り付けます。 【その他】 フィルム貼付けでの他ロール状フィルムの対応が可能です。（DAF貼付け、レジストフィルム貼付け等） |
ラインアップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FM-2243 | 12インチまで｜装置サイズ：510mm（W）x 860mm（D）x 330mm（H） |
| FM-2248 | 8インチまで｜装置サイズ：455mm（W）x 780mm（D）x 300mm（H） |
| FM-2246 | 6インチまで｜装置サイズ：375mm（W）x 760mm（D）x 230mm（H） |
| FM-2243-BG | 12インチまで バックグラインド：300mm/12、BG用途対応装置 |
| FM-2248-BG | 8インチまで バックグラインド：200mm/8 BG用途対応装置 |
| FM-2246-BG | 6インチまで バックグラインド：150mm/6 BG用途対応装置 |
関連ダウンロード
フィルム貼付装置｜マニュアルマウンター FM-224シリーズ
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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