波長365nmのUV-LEDを使用、常温照射、低ランニングコストです！
『UVC-708』は、波長365nmのUV-LEDを使用した、コンパクトな
LED光源UVフィルム硬化装置です。
UV-LEDの特長である常温照射、低ランニングコストはそのままに、
8インチウェハに対して全面照射を可能としました。
【特長】
■365nmのUV-LEDを使用し、常温照射、低ランニングコスト
■小型、テーブルトップサイズ
■簡単ボタン操作
■LEDユニットエラー検出機能
■N2パージ機構標準搭載
■8インチ枚葉式
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【仕様】
■ワークサイズ：8インチフレームまで対応
■光源：365nm UV-LED
■サイズ：460×535×325mm
■重量：約40kg
■電源：AC100V 50/60Hz 5A
■N2：0.2 MPa 接続 φ6mm クイック継手
■排気：冷却ファン内蔵 接続 50A
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■ワークサイズ：8インチフレームまで対応
■光源：365nm UV-LED
■サイズ：460×535×325mm
■重量：約40kg
■電源：AC100V 50/60Hz 5A
■N2：0.2 MPa 接続 φ6mm クイック継手
■排気：冷却ファン内蔵 接続 50A
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | UVC-708 |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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