●発生湿度出力：
測定範囲（蒸気濃度）：<1ppb ～ 12000 ppm
温度範囲（霜点・露点）：-120 °C FP ～ +10 °C DP
温度安定性（霜点・露点）：±0.05 °C
温度精度（霜点・露点）：±0.1 °C (FP > -80 °C)
●発生流量出力（ガス流量）：
範囲（出力あたり）：1～3出力、各0～5 SL/min
範囲（合計）：0 ～10 SL/min
精度：±0.2 SL/min
安定性：±0.1 SL/min
●温度：
飽和温度制御範囲：-120 °C ～ +20 °C
飽和温度制御精度：±0.05 °C
飽和温度制御安定性：±0.03 °C
制御温度計接続：2つの外部温度計接続
測定精度：±0.05 °C
プローブタイプ：Pt100、4線式
圧力：
飽和圧力制御範囲：常温～1 MPa (150 psia)
飽和圧力精度：±0.05% FS
試験圧力測定範囲：0.07 ～0.12 MPa (11～17 psia)
試験圧力精度：±0.05% FS
測定範囲（蒸気濃度）：<1ppb ～ 12000 ppm
温度範囲（霜点・露点）：-120 °C FP ～ +10 °C DP
温度安定性（霜点・露点）：±0.05 °C
温度精度（霜点・露点）：±0.1 °C (FP > -80 °C)
●発生流量出力（ガス流量）：
範囲（出力あたり）：1～3出力、各0～5 SL/min
範囲（合計）：0 ～10 SL/min
精度：±0.2 SL/min
安定性：±0.1 SL/min
●温度：
飽和温度制御範囲：-120 °C ～ +20 °C
飽和温度制御精度：±0.05 °C
飽和温度制御安定性：±0.03 °C
制御温度計接続：2つの外部温度計接続
測定精度：±0.05 °C
プローブタイプ：Pt100、4線式
圧力：
飽和圧力制御範囲：常温～1 MPa (150 psia)
飽和圧力精度：±0.05% FS
試験圧力測定範囲：0.07 ～0.12 MPa (11～17 psia)
試験圧力精度：±0.05% FS
