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テルモセラ・ジャパン株式会社 最新ニュース

テルモセラ・ジャパン株式会社 注目製品情報

  • BHシリーズ【超高温薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1600℃
    Φ1inch BHヒーター製品写真
    3種類のサイズ(Φ1, 2, 4inch)3種類のヒーター素線材質(NiCr, Kanthal, Tantalum)に限定して標準化、部品在庫を持つことにより短納期・安価な価格を実現しました。 大学実験室・研究機関に限定した数量限定の製品です。 【特徴】 ● 予備ヒーター素線との交換が容易 ● 取り扱いが簡単(M6スタッドボルト、支柱) 【標準付属品】 ● 熱電対:K素線タイプ アルミナ絶縁スリーブ付き(*C, Rの場合は別売) ● 取付用スタッドボルト 【オプション】 ● 標準外素線も用意しております(W, Nb, Mo, Pt/Re, WRe) ● 取付ブラケット ● ホルダー設置用タップ穴加工
    最終更新日:2017-08-06 14:23:12.0
  • ◆nanoPVD-T15A◆ 卓上型高性能真空蒸着装置
    卓上小型サイズにも関わらず、基本性能・膜質・均一性・操作性の全てを犠牲にせず、スタンドアローン大型機と同様の性能を実現しました。 更に簡単タッチパネル操作でPLC全自動制御。 難しい操作手順を必要とせずどなたでも直感的に操作ができる分かりやすいHMI。 USBケーブルでWindows PCに接続し、ログを保存、自動成膜レシピを作成保存。 限られた開発現場・ラボスペースを最大限有効活用ができる省スペース設計・メンテナンス性にも優れた小型卓上真空蒸着装置です。
    最終更新日:2017-08-06 15:27:59.0
  • ◆ANNEAL◆ 卓上型ウエハーアニール装置
    ANNEAL
    高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です(APC自動プロセス制御システムオプション)。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設、などオプションも豊富。 チャンバー内加熱ステージは、プロセスガス雰囲気・処理温度により3種類のバリエーションがあります。 ・ハロゲンランプヒーター:Max500℃ ・C/Cコンポジットヒーター:Max1000℃(真空中、不活性ガスのみ) ・SiCコーティングヒーター:Max1000℃(真空、不活性ガス、O2)
    最終更新日:2017-08-14 15:59:29.0

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