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2024-04-11 00:00:00.0
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Endless possibility_thermal engineering いつの時代でも欠かす事のできない「熱」に対する尽きぬ需要、研究開発ニーズに少しでもお役に立てるべく、最新の熱エンジニアリング、温度計測技術を紹介してまいりたいと考えます。当社は放射温度センサ等の温度計測機器、半導体・電子機器基礎開発部門を支える、ヒーター、実験炉などを販売します。
・CVD, PVD真空薄膜実験用超高…
ニュース一覧
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2024-04-08 00:00:00.0
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【MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉】Max 2000℃_ウエハー高温焼成専用(4inch〜8inch)
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SiC3, TiC3コーティングヒーター採用:様々なプロセス環境に対応 小規模生産も可能なマルチ雰囲気ウエハーアニール装置
◉Max2000℃
◉3種類のヒーター材質:
・高純度グラファイト:Φ6〜Φ8inch
・SiC3(炭化珪素)コーティング:Φ4〜Φ8inch
・TiC3(チタン・カ…
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2024-04-08 00:00:00.0
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☆★☆★【nanoCVD-8G/8N】グラフェン/カーボンナノチューブ合成装置 ☆★☆★
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◉ 本装置だけで簡単にグラフェン・CNT(SWNT)合成実験が可能、全てを備えた【Turnkey System】
◎ その他の用途でも熱CVD装置として応用可能
◉ 処理時間わずか30分!
◉ コールドウオール式による高効率・高精度プロセスコントロール
◉ 急速昇温:RT→1100℃/約3分…
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2024-04-08 00:00:00.0
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★【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置★ テルモセラ・ジャパン
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コンパクト/省スペース、ハイスペック
60ℓ容積 蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールを組込みことができる、様々な用途に対応可能なマルチ薄膜実験装置
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2024-04-08 00:00:00.0
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★☆★☆【MiniLab(ミニラボ)】シリーズフレキシブル薄膜実験装置★☆★☆
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MiniLab薄膜実験装置は、豊富なオプションから必要な成膜方法・材質に応じて都度最適なコンポーネント、制御モジュールを組み込むことにより、セミカスタムメイドで無駄を省いたコンパクトな装置を構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で搭載することにより応用範囲…
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2024-04-08 00:00:00.0
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★☆★☆【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置★☆★☆
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小型・省スペース! 有機薄膜開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等全ての作業をグローブボックス内でシームレスに行う事ができます。
有機EL, 有機薄膜太陽電池, 有機薄膜太陽電池, 又, グラフェン・2D材料(遷移金属ダイカルコゲナイドなどの二次元層状無機ナノ材料)などの開発プロセスでは、酸素・水…
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2024-04-08 00:00:00.0
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★☆★☆【MiniLab(ミニラボ)】シリーズフレキシブル薄膜実験装置★☆★☆
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MiniLab薄膜実験装置は、豊富なオプションから必要な成膜方法・材質に応じて都度最適なコンポーネント、制御モジュールを組み込むことにより、セミカスタムメイドで無駄を省いたコンパクトな装置を構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で搭載することにより応用範囲…
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2024-04-08 00:00:00.0
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◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置
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OLED, OPV, OTFT等の有機薄膜蒸着用途に最適。温度応答性/安定性に優れた低温有機蒸着源、金属膜用蒸着源を採用。
簡単タッチパネル操作でPLC自動制御、各種設定を一元管理。
難しい操作手順を必要とせずどなたでも直感的に操作ができる分かりやすいHMI。
USBケーブルでPC接続、ロ…
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2024-04-08 00:00:00.0
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★【マグネトロンスパッタリングカソード】★ テルモセラ・ジャパン
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不純物なく金属・絶縁物等を堆積するRF, DC, パルスDC対応高効率マグネトロンスパッタカソード。メンテナンス性にも優れます。
【特徴】
・高真空対応
・Φ2inch、Φ3inch、Φ4inchサイズ
・クランプリング式を採用、ボンディングが不要
・メンテナンス性に優れ、容易にターゲッ…
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2024-04-08 00:00:00.0
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多機能スパッタリング装置 【MiniLab-S060】
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Φ2inchカソード x 4基搭載
同時成膜:3元同時成膜(RF500W or DC850W)+ HiPIMS(PulseDC 5KW) x 1
プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能
MFC x 3系統(Ar, O2, N2)反応性スパッタリング…
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2024-04-08 00:00:00.0
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ウエハーアニール装置【ANNEAL】Max1000℃ APC自動圧力制御 MFC x3系統 Φ4〜6inch基板対応
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Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"〜最大6"基板対応、 高真空アニール装置(<5 × 10-7 mbar)
[ANNEAL]は、ウエハー等の基板を安定したプロセス雰囲気にて高温熱処理が可能な研究開発用アニール装置です。
高真空水冷式SUSチ…
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2024-04-08 00:00:00.0
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蒸着/スパッタ・デュアルチャンバーシステム【MiniLab-E080A/S060A】
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2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置(スパッタ - 蒸着、など)をロードロックでシームレスに連結。Moorfield社独自のロードロックシステムにより、左右・後方へのプロセス室への連結も可能(写真下)。
1. MiniLab-E080A(蒸着装置)
・EB蒸着:7ccるつぼ…
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2024-04-08 00:00:00.0
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☆★☆スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】☆★☆
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スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置 コンパクトフレームに金属蒸着・有機蒸着・スパッタカソードを設置
抵抗加熱蒸着源(金属蒸着)、有機蒸着源(有機材料)、マグネトロンスパッタ(金属・絶縁材)、3種類の成膜コンポーネントをチャンバー内に設置、様々な薄膜実験装置に1チャンバーで対応が可能です…
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2024-04-02 00:00:00.0
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□■□■【Mini-BENCH 】超高温卓上型実験炉 Max2000℃ □■□■
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卓上サイズ実験炉・省スペース 最高使用温度2000℃
還元雰囲気用メタル炉も製作致します。
◉ 卓上 省スペース:328 x 220 x 250mm
◉ るつぼ内サンプル焼成用(るつぼΦ50 x 100), 又はΦ1"〜Φ4"ウエハー焼成用
◉ ハイスペック&…
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2024-04-02 00:00:00.0
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BHシリーズ【UHV対応 超高温 真空薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1900℃
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3種類のサイズ(Φ1, 2, 4inch)4種類のヒーター素線材質(Kanthal, Graphite, SiC, W)に限定して標準化、短納期・安価な価格を実現しました。
大学実験室・研究機関に限定した製品です。
【特徴】
● 予備ヒーター素線との交換が容易
● 取り扱いが簡単(M6ス…
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2024-04-02 00:00:00.0
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【SHシリーズ 基板加熱ヒーター_Max 850℃】CVD, PVD薄膜実験用に最適
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テルモセラ・ジャパン【基板加熱ヒーター】CVD, PVD等の薄膜実験用に最適な1inch〜4inch超高温基板加熱ヒーターのカタログの最新版に更新しました。
◉ 最高使用温度850℃(SH-IN)、1100℃(SH-BN)
基板ホルダ、上下昇降機構・基板回転機構・RFバイアスなどのカスタマイズ品…
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2024-04-02 00:00:00.0
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☆★☆ 【TCF-C500 超高温小型実験炉】Max 2900℃ ☆★☆
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コンパクト・省スペース・省エネルギー! 高性能 R&D用超高温実験炉
小片試料を最高2900℃まで加熱実験ができるR&D用超高温小型実験炉。
実験室での超高温加熱実験、新素材開発などのさまざまな焼成実験を行うことができます。
◆主な特徴◆
・省スペース
・ロータリー…
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2023-09-18 00:00:00.0
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◆◆◆ 【Nanofurnace】Model. BWS-NANO 熱CVD装置 ◆◆◆
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多目的に使える、高精度プロセスコントロール【ホットウオール式熱CVD装置】
◉ グラフェン, カーボンナノチューブ
◉ ZnOナノワイヤ
◉ SiO2等の絶縁膜など
その他, ホットウオール式熱CVD装置として幅広いアプリケーションに活用いただけます。
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2022-12-24 00:00:00.0
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■□【PyroCouple】□■ 小型非接触式赤外線温度センサー
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小型計量・堅牢ボディ・高精度±1%・240msec高速応答 産業用機械制御用、生産現場の温度監視など多目的に応用できます。
【特徴】
◎ アンプ・センサ一体型
◎ 4-20mA出力(標準)、0-50mV、熱電対K, J, T出力(オプション)
◎ 精度:±1% or ±1℃(いずれか大き…
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2022-12-24 00:00:00.0
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■□【PyroUSB】□■ USB接続式 高精度赤外線温度センサー
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【概要】
標準付属の「CalexConfig」とUSBケーブル(1.8m付属)でWindowsPCに接続、PC上でセンサの測定パラメータ設定、測定結果の解析・CSV出力ができます。
1) 4-20mA出力
2) USB出力(USBバスパワーで動作)
3) 4-20mA/USB出力の同時使用
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2022-12-24 00:00:00.0
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★★【ExTemp】本質安全防爆型赤外線放射温度センサー★★
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ExTempは、石油化学プラント・医薬品工場・薬品工場などの危険物取扱設備や工場で使用することができる本質安全防爆構造の放射温度センサーです。
(TIIS型式検定合格番号:第21097号)
TIIS(産業安全技術協会)検定取得 危険場所(Zone0, 1, & 2)で使用可能
● …
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2022-12-24 00:00:00.0
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★★【PyroNFC】スマートホン設定式赤外線放射温度センサー★★
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温度範囲・放射率・アラーム等のパラメータをスマートホン、タブレットで設定 表示計器、計器用電源を必要とせず簡単に設定できます。
● スマホ・タブレットを使い設定を行う事ができます。
● 専用アプリをGoogle Playから無料ダウンロード(Android4.1〜5.1)
● Androi…
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2022-12-24 00:00:00.0
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■□【PyroMini USB】(パイロミニUSB)□■ USB接続式小型赤外線温度センサー
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USB接続式小型赤外線温度センサー 電源不要 PCからUSBバスパワーで給電 付属の専用ソフトでパラメータ設定・データ管理
【概要】
標準付属の「CalexConfig」をインストール、あとはUSBケーブルでWindowsPCに接続するだけ。Plug&Play感覚で簡単にPC上でセン…
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2022-12-24 00:00:00.0
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■□【PyroMini】(パイロミニ)□■ 小型高性能赤外線温度センサー
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高機能タッチパネル変換器で簡単設定・データロギング・microSDカードにデータ保存 PM2.2は光沢金属表面の測定も可能
【概要】
視認性の良い高輝度タッチパネルディスプレーで、温度レンジ・放射率・サンプリングレート等のパラメータを直感的に操作・設定。
microSDカードで長期間のデー…
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2022-12-24 00:00:00.0
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■□【PyroUSB】□■ USB接続式 高精度赤外線温度センサー
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【概要】
標準付属の「CalexConfig」とUSBケーブル(1.8m付属)でWindowsPCに接続、PC上でセンサの測定パラメータ設定、測定結果の解析・CSV出力ができます。
1) 4-20mA出力
2) USB出力(USBバスパワーで動作)
3) 4-20mA/USB出力の同時使用
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