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真空用 高温るつぼ加熱ヒーター。有機蒸着源 800℃、金属蒸着源 1500℃、としても利用できるバーサタイルなヒーターユニット
【主仕様】
■最高制御温度:800℃、又は1500℃
■使用環境:真空中・不活性ガス(*O2 は800℃まで)
■ヒーター:タングステンフィラメント
■るつぼ容積:1cc(最大充填量1.5cc)
■るつぼ材質:アルミナ(標準)
■ケース材質:SUS304, 又はモリブデン
■熱電対:K タイプ、又はC タイプ
【オプション】
⚫︎るつぼ材質:PBN, グラファイト, 石英
⚫︎ヒーター:NiCr 線, カンタル線
⚫︎るつぼ容積:10cc(最大充填量15cc)
⚫︎シャッター:空圧式, 又はモーター駆動
⚫︎水冷ジャケット
⚫︎コントローラー(ヒーター・シャッター制御ボックス)
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