テルモセラ・ジャパン株式会社

◉ 超高温基板ヒーター用エレメント Max 2200℃ 一覧

【エレメント材質】

■ AlN-W-AlNヒーター
■ グラファイト

■ CCコンポジット

■ グラファイトSiCコーティング

■ グラファイトPBNコーティング

■ CCコンポジットPGコーティング

■ グラッシーカーボン(黒色ガラス状樹脂コーティング)
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