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◉ 【MiniLab-M307】ベルジャー式真空蒸着装置 一覧

低価格で, しかも妥協の無いハイスペック・高品質薄膜が可能
【主仕様】(フレキシブルにご要求に合わせた構成が可能です)
・ベルジャー:ガラス(Pyrex)もしくは SUS304 Φ304 x 350H mm ベースプレート着脱式
・真空排気系:ターボ分子ポンプ 250ℓ/sec, ロータリーポンプ 8㎥/hr PLC自動真空/ベントシーケンス制御
・抵抗加熱蒸着源:最大4源(Model. TE1~TE4蒸着源)
・有機蒸着源:最大3源
・カーボン蒸着源:1源(オプション)
・プロセス制御:手動、もしくはPC自動制御
・膜厚モニタ:Inficon社製 Q-Pod膜厚モニタ 専用ソフトウエア, 水晶振動子
・膜厚制御:Inficon社製 SQC310 2チャンネルシーケンシャル膜厚プロセスコントローラ
・ユーティリテ:電源200V 3相 50/60Hz 13A, 水冷3ℓ/min, N2ベントガス50kpa
・オプション:コデポジション, 基板加熱, 基板ペルチェ冷却, バイアス印加, 上下昇降, ドライポンプ

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表示件数
30件

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