◉ 【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置 一覧
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80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上。ロードロック機構も追加できるML-060の上位機種。060同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着（金属/絶縁物/有機材）,EB蒸着, RF/DC兼用マグネトロン式スパッタ, ドライエッチ, CVD,アニールなどの幅広い目的に対応。
・抵抗加熱蒸着源 x 最大4
・有機蒸着源 x 最大4
・マグネトロンスパッタリングカソード x 4
・電子ビーム蒸着
・最大Φ8inch加熱ステージ（標準500℃, Max1000℃）
・RF/DCエッチングシステム
・CVD（熱CVD, PECVD）
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薄膜実験装置_「PRODUCTS GUIDE 2022」
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半導体・電子デバイス・燃料電池・ディスプレイなどの研究開発用各種実験装置、薄膜実験装置を紹介。
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最終更新日：2023-09-15 14:38:25.0
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□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□
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蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570mmトールチャンバー採用 蒸着時の均一性向上に寄与
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最終更新日：2023-09-16 10:31:15.0
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□■□【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置□■□
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グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570mmトールチャンバー採用 蒸着時の均一性向上に寄与
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最終更新日：2023-09-16 10:32:22.0
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□■□【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置□■□
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蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み立てることができるセミカスタムメイド薄膜実験装置
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最終更新日：2023-09-20 21:04:04.0
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□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□
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小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合わせてフレキシブルに構成
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最終更新日：2023-09-20 12:24:55.0
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【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置
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小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全ての作業をグローブボックス内でシームレスに行う事ができます。
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最終更新日：2023-09-15 14:05:23.0
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【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置
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モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立が可能。様々な研究用途に対応可能な小型薄膜実験装置。
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最終更新日：2023-09-20 11:54:31.0
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【マグネトロンスパッタリングカソード】
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不純物なく金属・絶縁物等を堆積するRF, DC, パルスDC対応高効率マグネトロンスパッタカソード。メンテナンス性にも優れます。
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最終更新日：2023-09-15 14:39:56.0
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【nanoPVD-S10A】マグネトロンスパッタリング装置
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高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式スパッタリング装置
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最終更新日：2023-09-15 14:16:58.0
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◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置
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限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新の真空蒸着技術の全てを収納しました。
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最終更新日：2023-09-15 14:31:02.0
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◆ANNEAL◆ ウエハーアニール装置
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Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板対応、 高真空アニール装置（<5 × 10-7 mbar）
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最終更新日：2023-09-15 14:42:44.0
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MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉2000℃
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SiC3, TiC3コーティングヒーター採用：様々なプロセス環境に対応 小規模生産も可能なマルチ雰囲気ウエハーアニール装置
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最終更新日：2023-04-01 17:30:19.0
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【Nanofurnace】BWS-NANO 熱CVD装置
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【ホットウオール式熱CVD装置】基礎研究に最適なコンパクトサイズ高性能CVD装置
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最終更新日：2023-08-26 16:32:53.0
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【nanoCVD-8G/8N】グラフェン/CNT合成装置
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◉ 大型製造装置設備を使わず、短時間で容易にグラフェン・CNT（SWNT）合成実験が可能 ◉ 1バッチわずか30分！
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最終更新日：2023-09-15 14:33:46.0
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ソフトエッチング装置【nanoETCH】＜30W低出力
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＜30W（制御精度10mW）低出力RFエッチングによる、精細でダメージレスなエッチング処理を実現。
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最終更新日：2023-09-16 11:25:21.0
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BHシリーズ【超高温薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1800℃
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【UHV対応 真空薄膜実験用 面状加熱ヒーター】 大学・研究機関のお客様に限定した安価で短納期なヒーター製品を用意致しました。
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最終更新日：2023-08-26 17:00:35.0
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【SHシリーズ基板加熱ヒーター】真空成膜用 Max1100℃
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CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現性に優れた高真空 超高温ウエハー加熱用ホットプレート
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最終更新日：2023-10-15 20:38:59.0
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【ホットステージ】超高温基板加熱ステージ Max1800℃
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超高温基板加熱ステージに、基板昇降・回転、RF/DC基板バイアスの全てが1台で可能! 'All-In-One'コンポーネント
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最終更新日：2023-08-26 16:58:50.0
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【HTシリーズ基板加熱ヒーターMax1900℃】Φ1〜8inch
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プレート最高温度Max1900℃。HV, UHVほか過酷なプロセス環境に対応可能な真空薄膜・成膜装置用基板加熱ヒーター
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最終更新日：2023-08-26 17:09:44.0
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【円筒状ヒーター】グラファイト, C/Cコンポジットヒーター
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超高温 Max1800℃円筒状ヒーター
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最終更新日：2023-08-26 16:52:17.0
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【Mini-BENCH 】超高温卓上型実験炉 Max2000℃
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卓上小型サイズ実験炉・省スペース 最高使用温度2000℃！ 還元雰囲気用メタル炉も製作致します。
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最終更新日：2023-08-26 17:11:01.0
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TCF-C500 超高温小型実験炉Max2900℃
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コンパクト・省スペース・省エネルギー！ 高性能 R&D用超高温実験炉
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最終更新日：2023-08-26 17:04:42.0
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◆◇◆ R&D用小型縦型実験炉 TVF-110 ◆◇◆
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ローコスト 必要最小構成（手動制御）管状炉・拡散炉・熱CVDとして応用可能
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最終更新日：2023-08-26 17:02:43.0
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Products Guide_【超高温実験炉 製品ガイド」
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テルモセラ・ジャパン研究開発用実験炉を紹介。燃料電池・セラミックス等の材料開発・黒鉛・等の超高温実験に活用頂けます。
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最終更新日：2023-08-26 17:07:19.0
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◆Mini-BENCH-prismセミオート式 超高温実験炉◆
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最高使用温度2000℃ セミオート制御 超高温実験炉（カーボン炉、タングステンメタル炉） 小型・省スペース実験炉
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最終更新日：2023-08-26 16:36:02.0
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スパッタ・蒸着源複合型 薄膜装置 【nanoPVD-ST15A】
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真空蒸着（金属・有機蒸着源）、スパッタリングカソードの混在設置が可能な「複合型」薄膜実験装置 nanoPVD-ST15A
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最終更新日：2023-09-14 00:39:14.0
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真空炉『Mini-BENCH 超高温卓上型実験炉』
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卓上小型サイズ実験炉・省スペース 最高使用温度2000℃！ 還元雰囲気用メタル炉も製作致します。
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最終更新日：2023-08-27 23:55:12.0
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真空炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』
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最高使用温度2000℃ セミオート制御 超高温実験炉（カーボン炉、タングステンメタル炉） 小型・省スペース実験炉
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最終更新日：2023-08-27 23:56:21.0
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アニール炉『MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉』
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SiC3, TiC3コーティングヒーター採用：様々なプロセス環境に対応 小規模生産も可能なマルチ雰囲気ウエハーアニール装置
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最終更新日：2023-04-01 17:19:42.0
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アニール炉『ANNEALウエハーアニール装置』
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Max1000℃、MFC最大3系統、APC圧力制御、4"、又は6"基板対応、 高真空アニール装置（<5 × 10-7 mbar）
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最終更新日：2023-09-15 14:42:16.0
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