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◇◆成膜コンポーネント◆◇
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◇◆成膜コンポーネント◆◇ 一覧
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□■□MiniLabシリーズ実験装置□■□
◉ nanoETCH ソフトエッチング装置
◉ 【MiniLab-026】小型真空蒸着装置
◉ 【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置
◉ 【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置
◉ 【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置
【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置
□■□薄膜実験装置（コンパクトタイプ）□■□
◉ nanoPVD-S10A マグネトロンスパッタリング装置
◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置
◆ANNEAL◆ ウエハーアニール装置
◉ nanoCVD-8G/8N グラフェン/CNT合成装置
◉ Nanofurnace "BWS-NANO" 熱CVD装置
◇◆成膜コンポーネント◆◇
□■□超高温小型実験炉シリーズ□■□
◉ Mini-BENCH超高温小型卓上実験炉 Max2200℃
◉ TCF-C500 超高温小型実験炉Max2900℃
● MiniLab-WCF超高温ウエハーアニール炉2200℃
◆◇◆ R&D用小型縦型実験炉 TVF-110 ◆◇◆
□■□基板加熱ヒーター□■□
◉ BHシリーズ基板加熱ヒーター Max 1600℃
◉ SHシリーズ基板加熱ヒーター Max 1100℃
◉ ホットステージ「基板加熱機構」Max 1800℃
◆HTEヒーター◆ 高真空るつぼ加熱ヒーター Max1500℃
□■□温度センサー□■□
□■□赤外線温度計測機器□■□
◉ 小型・高精度赤外線放射温度センサー
◉ USB接続式・放射率可変 高温用赤外線放射温度センサー
◉ 本質安全防爆型赤外線放射温度センサー
◉ スマートホン設定式赤外線放射温度センサー
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