テルモセラ・ジャパン株式会社

実験炉・ヒーター_「PRODUCTS GUIDE_2022」

最終更新日: 2023-08-26 17:08:55.0

  • カタログ

電子デバイス・燃料電池・ディスプレイなどの研究開発用 最新の高温基板加熱用ヒーター、実験炉をご紹介します。

◉「Mini-BENCH」超高温卓上型実験炉Max2000℃
◉「Mini-BENCH-prism」セミオート式 超高温実験炉Max2000℃
◉「Thermic Edge furnace-TE」セミオート式超高温卓上型実験炉Max2000℃
◉「MiniLab-CF」超高温実験炉Max2900℃
◉「Mini-Lab-WCF」超高温ウエハーアニール炉Max2000℃
◉ SiC3立方晶炭化珪素コーティンググラファイト部品
◉ BH基板加熱ヒーター:

◉ 超高温実験炉シリーズ:
※3種類のヒーター素線オプションを用意
・C/Cコンポジット
・SiC3立方晶炭化珪素コーティンググラファイト
・TiC3チタンカーバイドコーティンググラファイト
◉ BH基板加熱ヒーター:
大気/高真空中/ガス雰囲気中あらゆるプロセス雰囲気に対応する基板均一加熱ヒーター。Max1800℃、φ1inchウエハ用から角型いずれも製作できます。ヒーターエレメントはNICr、グラファイト、CCC、グラファイトSICなど使用条件に応じて都度カスタマイズ致します。

※詳細は資料請求またはダウンロードからお問い合わせください。
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用途/実績例 電子デバイス・燃料電池・ディスプレイ等の基礎研究開発

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